AT400DA

双臂大气晶圆搬运机器人
  • 结构稳定可靠。
  • 高度模块化和可定制化的设计。
  • 垂直行程小于400毫米。
  • 高速响应的无刷伺服电机。
  • 无需初始化的绝对值编码器。
  • 可应用于直线型或圆周型生产线的晶圆拾取。
  • 支持RS-232和TCP/IP通信。
  • 先进的32位实时运动控制内核。
  • 强大的晶圆搬运处理固件。
  • 全面的软件工具和实用程序。
  • 可兼容各类传统机器人宏命令的软件环境。
  • 方便客户使用的通用数据输入、输出。
  • 完全符合Class 1 无尘室环境的各项要求
  • 重复运行可靠性高:故障间运行时数大于6万小时,故障间运行周期数大于1千万次循环
为您安全生产保驾护航的合作伙伴

“He-Five昀动”提供可靠的自动化晶圆搬运解决方案。我们的使命是向市场提供品质最优、性能最好、效率最高的自动化产品。我们的AT400DA机器人应用于自动化大气晶圆搬运解决方案。AT400DA机器人采用当前全球先进技术,在性能方面取得了重大进展。不仅最大限度地降低了污染,而且保证设备常年运行的可靠性。

产品的独特优势
创新的结构设计
  • AT400DA 的主干结构设计采用了高强度、标准化的设计,使得该机器人能够在各种工作环境中进行简便、快速的安装。
  • 机器人结构采用高度模块化的设计,方便产品日后的保养及维修。
  • 完全符合SEMI S2及其它行业内通行的安全标准。
先进的运动控制平台
  • 运动控制系统采用分布式架构。
  • 快捷的接线方式,易于安装和维护。
  • 先进的伺服驱动控制算法。
  • 灵活、强大的运动控制编程语言。
  • 直观、友好的用户界面。
高性能晶圆搬运控制软件
  • 强大的驱动控制固件。
  • 与通用品牌晶圆机器人实现运动控制的完全兼容。
  • 内置自校准及实时校验功能。
  • 晶圆识别信息的在线读取。
  • 晶圆盒物料信息扫描。
晶圆规格尺寸
  • 2英寸至12英寸
  • 50毫米至300毫米
负载
  • 2.2 英镑
  • 1.0 千克
编码器
  • 带有备用电池的绝对编码器
电机类型
  • 无刷伺服电机
  • 低惯性设计
  • 快速响应能力强
产品自重
  • 83 英镑
  • 38 千克
运行温度区间
  • 50华氏度至104华氏度
  • 10摄氏度至40摄氏度
电源规格
  • 交流100伏至240伏
  • 50赫兹至60赫兹
轴向 运动范围 最大速度 最大加速度 轴向重复运行精确度
T > 360°
±230°
360°/s 1500°/s² ±0.01°
R ±17 inch 50 inch/s 300 inch/s² ±0.001 inch
±0.025 mm
Z 15.75 inch 18 inch/s 44 inch/s² ±0.001 inch
±0.025 mm