AT300

晶圆搬运机器人
  • 结构稳定可靠。
  • 模块化设计并且支持高自由度的客户个性定制。
  • 垂直行程小于13英寸/330毫米。
  • 高速响应的无刷伺服电机。
  • 绝对编码器在电源启动后可立即准备就绪。
  • 可以应对任意圆周或直线型晶圆的拾取和放置。
  • 标准的 RS-232 接口连接和TCP/IP协议通信。
  • 先进的32位实时运动控制内核。
  • 强大的晶圆搬运处理固件。
  • 综合的软件工具和实用程序。
  • 可兼容各类通用机器人宏命令的软件环境。
  • 更加符合客户需求的通用数据输入、输出。
  • 完全符合Class 1 洁净工作环境的各项要求 。
  • 重复运行可靠性高:故障间运行时数大于6万小时 ,故障间运行周期数大于1千万次循环 。
为您安全生产保驾护航的合作伙伴

“HE-FIVE昀动” 提供可靠的自动化晶圆搬运解决方案。我们的使命是向市场提供品质最优、性能最好、效率最高的自动化产品。 我们的AT300机器人应用于自动化大气晶圆搬运解决方案。AT300机器人采用当前全球先进技术,在性能方面取得了重大进展。不仅最大限度地减少污染,而且保证设备常年运行的可靠性。

产品的独特优势
创新的结构设计
  • AT300 的主干结构设计采用了高强度、标准化的设计,使得该机器人能够在各种工作环境中进行简便、快速的安装。
  • 整套机器人的设计采用了多模块组合的理念,方便于产品日后的保养及维修。
  • 完全符合 SEMI S2 及其它行业内通行的安全标准。
先进的运动控制平台
  • 整套机器人的运动控制系统采用了分布式控制的架构。
  • 快捷方便的接线方式和简易的后期维护。
  • 伺服电机控制模型中采用了高性能的运动轨迹算法。
  • 灵活而强大的用户编程语言。
  • 直观、友好的用户界面和控制工具。
高性能晶圆搬运控制软件
  • 高性能的嵌入式控制软件 。
  • 与通用品牌晶圆机器人实现运动控制的完全兼容 。
  • 自身内置的自校准及实时对准校验功能 。
  • 晶圆识别信息的在线读取 。
  • 晶圆架中晶圆片数及位置的读取 。
晶圆规格尺寸
  • 2英寸至12英寸
  • 50毫米至300毫米
负载
  • 2.2英镑
  • 1.0千克
编码器
  • 带有备用电池的绝对编码器
电机类型
  • 无刷伺服电机
  • 低惯性设计
  • 快速响应能力强
产品自重
  • 62英镑
  • 28千克
运行温度区间
  • 50华氏度至104华氏度
  • 10摄氏度至40摄氏度
电源规格
  • 交流100伏至240伏
  • 50赫兹至60赫兹
轴向 运动范围 最大速度 最大加速度 轴向重复运行精确度
T > 360°
±230°
360°/s 1500°/s² ±0.01°
R ±17 inch 50 inch/s 300 inch/s² ±0.001 inch
±0.025 mm
Z 13 inch 18 inch/s 44 inch/s² ±0.001 inch
±0.025 mm